개찰완료
물품
5+1미래전략산업 양자(반도체) 분야 교육 및 연구 인프라 구축을 위한 기자재(진공플라즈마표면처리기) 구입
가격 · 일정
추정가격
18,000,000원
약 1,800만원
- 부가세
- 1,800,000원
- 배정예산
- 19,800,000원
가격 비율 비교
추정가격
18,000,000원
낙찰금액
17,820,000원
공고일 완료
2026.07.07 16:34
입찰 개시
완료
2026.07.07 16:50
자격등록 마감
완료
2026.07.15 11:00
마감일
마감
2026.07.15 11:00
개찰일
완료
2026.07.15 14:30
입찰 조건 · 참가자격
입찰 조건
- 입찰방법
- 전자입찰
- 낙찰방법
- 제한적최저가(낙찰하한율)-제한적최저가(낙찰하한율)
- 계약방법
- 일반경쟁
- 예정가격 결정방법
- 단일예가
- 개찰장소
- 국가종합전자조달시스템(나라장터)
- 재입찰 허용
- 미허용
- 국제입찰
- 아니오
참가자격
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이 입찰의 투찰 분석과 참여 기업 정보를 확인하세요
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낙찰 결과
투찰 분석 4개사 참여
| 순위 | 업체명 | 투찰금액 | 투찰율 |
|---|---|---|---|
| 1 | 낙찰업체명 | 000,000,000원 | 00.00% |
| 2 | 주식회사 랩서플라이 | 18,700,000원 | 103.89% |
| 3 | 이앤태그 | 18,975,000원 | 105.42% |
| 4 | OO건설(주) | 000,000,000원 | 00.00% |
| 5 | (주)OO종합건설 | 000,000,000원 | 00.00% |
4개 업체가 투찰했습니다. 가입하면 낙찰자를 포함한 전체 순위를 확인할 수 있습니다.
물품 상세 1건
| 품목분류 | 규격 | 수량 | 단가 | 납품조건 |
|---|---|---|---|---|
| 표면처리기 | 1) 챔버모듈 - 진공챔버 내부크기 : 100 x 160 x 100mm (WxDxH) - 전극구조 : 축전결합형 (반응성이온식각과 플라즈마식각 모드 모두 지원하는 평행한 2중 전극) - 전극간거리 : 60mm - 관람창 : 80mm - 플라즈마 진단 모듈의 호환가능의 챔버디자인 2) 파워제너레이터 모듈 - 플라즈마 전원공급기 주파수 : 50kHz - 출력 : 최대 100W - 플라즈마 이온밀도 : 1.5 x 1012 ~ 2.5 x 1012 (@50W ~ 200W) - 압력제어장치 : ≤Base Pressure 5.0 x 10-2 Torr (≤ 5min) - SiO₂ Etching Rate : ≥ 100nm/min - PR Etching Rate : ≥1㎛/min 3) 가스모듈 - 최대 가스공급라인 : 2 x 채널 - 선택 가스종류 : 산소, 아르곤, 질소 - 가스공급조절 : Mass Flow Controller - 유량조절 : 최대 100sccm - 퍼지라인과 벤트라인 : 각각 1채널 가지며 외부에서 Speed Controller 연결가능 4) 진공모듈 - Vacuum Gauge : Atm ~ 1.0 x 10-4 Torr - 진공펌프 펌핑 용량 : 105 L/min @50/60Hz - 진공펌프 최저도달압력 : 1.5 x 10-3 Torr 5) 컨트롤 모듈 - 컨트롤러 : 5인치 터치스크린 - 호환되는 진공펌프 터치스크린에서 전원제어 - 모든 공정요소 조정 및 실시간 비상감지 및 안내 - 실시간 온도 감지 기반 자동 인터락 보호 기능을 갖춘 파워 제너레이터 - 매뉴얼모드 | 1 | 19,800,000원 | 현장설치도 |
자주 묻는 질문
이 입찰의 참가자격은 무엇인가요?
상세 참가자격은 공고 원문을 확인하세요.
추정가격은 얼마인가요?
이 입찰의 추정가격은 18,000,000원입니다.
입찰 마감일은 언제인가요?
입찰 마감일은 2026.07.15 11:00입니다.
투찰 분석 데이터를 볼 수 있나요?
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